该晶圆手工产出厂家处于华北沿海地区,一般产出89英寸半导体设备晶圆,平均废污水的排放物量约800吨。由产出流程中用到许多盐酸来进行晶圆蚀刻,引致废污水里面氟化物质量浓度超过200-300mg/L,远超中国的排放物的标准(10mg/L以内)。
废污水组分及原因
化工废水注意产于3个关键环节:
晶圆蚀刻工艺程序
:含高酸度氟化物(HF)、氰化钠及一点天价属
检查是否机器打磨(CMP)污废水
:含微米级硅粒状、巧妙络合剂
环保设备擦拭工业废水
:含异丙醇、挥发酚等有机质物
加工方案方案
进行"化学上的滤渣+混疑滤渣+纵深过滤程序"两级解决设计:
6级工作
:加药系统氯化钙和氢腐蚀钙,变成氟化钙沉垫,氟化物清理率达85%
二级考试加工处理
:加入PAC(配位聚氯化铝)和PAM(聚丙稀酰胺),我们要除电解质溶液态水工业废气
三阶段处置
:经过多有机溶剂过滤装置器和抗逆性炭过滤,出液氟化物渗透压平衡在8mg/L下面的
要素装备涉及到:pH会自动调试程序、斜管石雕文化生活污水浓缩池、板框压滤设备(生活污水脱水烘干)。
终于视觉效果
建设项目电脑运行两年评估数据信息提示 :
氟化物年均氧化还原电位:7.2mg/L(大于一个标准规范化)
COD去掉率:92%
工业废水水分含量率:≤65%
年巧用氟化钙副成品约150吨,保持的秸秆综合巧用巧用